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LSO-WPS50-TEC 高低溫晶圓測試真空探針臺

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可進行真空環境下的高低溫測試(4.2K-450K);防輻射屏設計,樣品溫度均勻性和穩定性更好;兼容高倍率金相顯微鏡,可微調移動;探針熱沉設計;可升級自動流量控制;可升級加載磁場支持光譜波長/光功率特性測試;器件的高頻特性(支持大67GHz頻率);VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光譜波長測試;VCSEL/LD/LED/PD的LIV/CV特性測試。

詳細信息 在線詢價

產品特性 

 

1. 可進行真空環境下的高低溫測試(4.2K-450K

2. 防輻射屏設計,樣品溫度均勻性和穩定性更好

3. 兼容高倍率金相顯微鏡,可微調移動

4. 探針熱沉設計

5. 可升級自動流量控制

6. 可升級加載磁場

7. 支持光譜波長/光功率特性測試

8. 器件的高頻特性(支持大67GHz頻率)

9. VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光譜波長測試

VCSEL/LD/LED/PD的的LIV/CV特性測試

 

主要技術指標 

型號

LSO-WPS50-TEC

LSO-WPS100-TEC

LSO-WPS50C-TEC

外形

900mm長*

900mm寬*

530mm

1100mm長*

1100mm寬*

530mm

1100mm長*

1100mm寬*

1030mm

重量

約170公斤

約190公斤

約290公斤

電力需求

AC220V, 50~60Hz

樣品臺

尺寸

2英寸

4英寸

2英寸

樣品固定方式

真空導熱硅脂/彈簧壓片

樣品臺移動

固定的樣品臺

真空度

10^-10torr真空

光學特性

顯微鏡行程

2*2英寸

4*4英寸

2*2英寸

放大倍數

變焦:7:1分辨率4μm(放大倍數216X)或者選用金像顯微鏡(20X-1000X)

真空腔觀察窗尺寸

2inch

4inch

2inch

CCD像素

50W(模擬)/200W(數字)/500W(數字)

溫度控制

制冷方式

液氮/液氦

制冷壓縮機

控制方式

開循環手動/自動冷媒流量控制

閉循環自動控制

控溫范圍

77~450K/4.2K~450K

4.2K~450K

控溫分辨率

0.001k

溫度穩定性

4.2K     ±0.2K           77K      ±0.1K

373K     ±0.08K         473K     ±0.1K

823K     ±0.2K(可選)       973K     ±1.0K(可選)

常溫到8K冷卻時間

90min

150min

8K到常溫升溫時間

90min

90min

常溫開始的升溫時間

100℃      150℃                  200 

30min      50min                  80min

加熱電源

LVDC低壓直流

傳感器

硅二極管

傳感器數量

樣品臺,防輻射屏,探針臂各一個

功率

50W/100W/500W/1000W

點針規格

探針數量

2個/4個/6個

探針調節

真空波紋管外部調節,手動控制

點針精度

10微米/2微米/0.7微米

點針行程

25mm-25mm-25mm

漏電精度

10pA/100fA

接口形式

三軸/SMA/K/光纖接口

應用方向

高低溫真空環境下的芯片測試,材料測試,霍爾測試,電磁輸運特性等

 

 

 

 

 


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