樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式，便于組合
用途
●  提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
●  清洗各類基板。
●  電子部品、材料表面改質(zhì)。
●  去除有機物和自然氧化膜。

特點
●  體積小，節(jié)省空間。
●  選用小型腔體，反應(yīng)效率高。
●  更容易嵌入生產(chǎn)線使用。
●  可通過操作面板自由切換等離子模式。
●  配備冷卻反應(yīng)臺。

內(nèi)槽


技術(shù)規(guī)格