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UL1000 Fab

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好處

  • 通過縮短抽氣時間和響應時間加快泄漏檢測工作
  • 通過使用可選的背景抑制(Izero),避免需要進行多次泄漏測試。
  • 通過緊湊的設計方便進入空間有限的維護區域
  • 通過耐用的兩個熱絲離子源(三年保修)和逆流式真空系統實現低擁有成本 (TCO)
  • 通過可旋轉顯示、聲音和燈光泄漏提示以及可選的遠程控制降低應用難度
  • 通過內置泄漏測試和自動校準程序實現低成本維護

典型應用

  • 對清潔度要求嚴苛的工業真空設備制造
  • 在將真空組件或子組件安裝到現有工具中之前
  • 真空工具的維護工作,無論是否有泵的支持
  • 工藝氣體系統的檢查和安裝
  • 半導體、平板顯示器或太陽能電池制造

規格

類型 Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
氦氣(真空模式)低可檢漏率 mbar?L/s

< 5="" •="">-12

氦氣(吸式)低可檢漏率 mbar?L/s

< 5·10-8

GROSS 模式大進氣口壓力 mbar 15
FINE 模式大進氣口壓力 mbar 2
ULTRA 模式大進氣口壓力 mbar 0.4
抽真空期間的抽氣能力 m³/h 25 at 50 Hz
ULTRA 模式氦氣抽氣能力 L/s 2.5
可檢測質量數 2,3,4 amu
質譜儀扇形場 180°
燈絲離子源銥/氧化釔涂層 2
內置校準漏孔 mbar?L/s

∼ 10-7

測試端口 DN 25 KF 1
可調觸發器

2

接口 RS 232
圖形記錄器輸出 V 2 x10
輸入/輸出 PLC compatible
允許的環境溫度(操作過程中) °C +10 to +40
重量 110
尺寸(長x寬x高) 1050 x 472 x 987
電源電壓 (EU) V (ac) 230 (± 10 %) 50 Hz
電源電壓 (US) V (ac) 100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz
功耗 (typ.) VA 1100
功耗 (typ.) VA 1100

零件號

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件號 明細
550-100A ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug
550-101A ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug

附件

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件號 明細
14005 SL200,UL1000/5000/Modul1000 用吸槍探頭,4 米長
14022 RC1000 extension cable, 8 m
551-000 Toolbox, detachable,for UL1000
551-001 Helium Bottle Holder for UL1000/5000
551-002 ESD Mat for UL1000/5000
551-005 TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-010 遙控器 RC1000C,有線,帶 4 米卷線
551-015 遙控器 RC1000WL,無線,包括無線發射機
551-020 RC1000WL 用無線發射機

數據表

手冊

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