RBLD系列氦質譜檢漏儀是基于INFICON成套質譜模
塊開發而成的工業用氦質譜檢漏儀.它繼承了
INFICON系列產品具有的精確,穩定,高重復性,zui小
維護,低成本和易使用等優點,在此基礎上,結合睿
寶多年來在真空行業積累的經驗,使其成為高性價
比,快速且穩定的工業用氦質譜檢漏儀。

氦質譜檢漏儀

型號：RBLD201  

儀器資料：

  RBLD系列氦質譜檢漏儀是基于INFICON成套質譜模

塊開發而成的工業用氦質譜檢漏儀.它繼承了

INFICON系列產品具有的精確,穩定,高重復性,zui小

維護,低成本和易使用等優點,在此基礎上,結合睿

寶多年來在真空行業積累的經驗,使其成為高性價

比,快速且穩定的工業用氦質譜檢漏儀。

若檢漏儀需要頻繁地維修或維護就很難保證它的重

復性。設計于*穩定運行和結合智能與自動調整

的RBLD系列可在zui小維護的需求下提供很高的可靠

性。此外，RBLD系列是*保證離子源燈絲至少可

使用三年的檢漏儀。INFICON的三年保修期是舉世

*的，它的意義遠遠不只是在燈絲上節省費用。

全面的系統監測和優質的燈絲是高在機運行時間、

低成本、溫度穩定性和*系統穩定性的重要因

素。

適用于大多數測試系統的配置，RBLD系列在大多

數常用測試條件下都可提供快速和高重復性的結

果。可配置于粗檢和精檢模式,在每個模式中寬的

靈敏度范圍可使用靈活的測試技術。的線性特

性可在不同的漏率要求下對各部件每個漏點進行無

需再校準的檢漏。

RBLD系列具備完善的系統監測和本機診斷功能。儀

器精細地監測與控制運行過程中的關鍵參數。診斷

碼自動提示,提供的診斷碼結合用戶手冊便于進行

故障查找。*的渦輪分子泵和及其電子學單元保

證zui長的在機運行時間。簡單與牢固的雙流式渦輪

分子泵提供轉子位置無比的高穩定性和抗震性，大

大地延長了渦輪泵的使用壽命。

操作方式：觸摸屏中文界面

外形尺寸：RBLD201：46x87x61/RBLD301：

67x32x60（寬x高x深）厘米

質譜儀：180°磁偏轉

燈絲：2根敷氧化釔的銥陰極

真空連接：DN16KF/DN25KF

電源電壓：AC220V（±10%）

頻率：50/60Hz

功率:RBLD201：<800W/RBLD301：<500W

zui大進氣口壓強:粗檢模式：1500Pa/低靈敏度（純

逆向氣流）：100Pa/高靈敏度（順流檢漏）：30Pa

預熱時間：≤3分鐘

可檢氣體：He2He3He4

zui小可檢漏率:低靈敏度（純逆向氣流）:2.0×10-

09Pam3/s；靈敏度（順流檢漏）:2.0×10-11

Pam3/s

測量范圍:2.0×10-11Pam3/s-------2.0×10-02

Pam3/s

響應時間（至訊號的63%）：<1秒