無應力平面檢測干涉儀（數字化相移分析系列）是高性能模塊化組合檢測干涉儀中的一種，它采用組合式激光干涉儀作為核心部件，主要用于高效檢測高精度平面，是公司推出的力作

無應力平面檢測干涉儀（數字化相移分析系列）是高性能模塊化組合檢測干涉儀中的一種，它采用組合式激光干涉儀作為核心部件，主要用于高效檢測高精度平面，是公司推出的力作。該產品包括光源、主機、成像以及鏡頭和相移等四大模塊，主要技術指標已達到國際水平，采用更加簡便操作的俯式測量，其擁有的測量精度PV和測量重復性RMS，并突破了一等平面平晶限制，且其采樣點可達上百萬像素，能客觀反映被測平面全貌。不僅測量精度高，而且具有的測量效率。此款干涉儀可廣泛應用高精度光學元件制造、計量檢測、生物醫學、航空航天、國防、微電子、能源等眾多領域，具有廣闊的市場前景。