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PMD-氣浮隔振大理石平臺

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產品介紹:■臺面材料采用健康型天然大理石平臺,其明顯優點是平面度好、質量大、穩定性好、耐腐蝕性強

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產品介紹:

■臺面材料采用健康型天然大理石平臺,其明顯優點是平面度好、質量大、穩定性好、耐腐蝕性強。

■隔振器采用高阻尼低頻空氣彈簧,配帶無油空壓機,隔振性能優良,系統穩定。具有自動水平,自動充氣,噪聲低等特點。關鍵氣動執行元件均采用進口產品。

■該產品適用于XY精密移動檢測平臺,晶圓檢測,芯片檢測,輪廓儀,點膠機檢測等平面度要求高的實驗。
技術指標:
■平面度:00級
■固有頻率:x方向:1.5Hz~2Hz y方向:1.5Hz~2Hz
■重復定位精度:±0.05mm
■比重:2970 ~ 3070 kg/㎡
■抗壓強度:245?254 Mpa
■彈性模量:1.27 ~ 1.47 Gpa
■線膨脹系數:4.61x10—6/0 C
■吸水率:<0.31%

■肖氏硬度:70 Hs以上

■接受特殊規格尺寸訂做


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