芬蘭PICOSUN公司是ALD技術發明人TuomoSuntola創立的，與Picosun專家隊伍被稱為ALD的

芬蘭PICOSUN公司是ALD技術發明人Tuomo Suntola創立的，與Picosun專家隊伍被稱為ALD的。

Suntola于1974年發明ALD技術，因此獲得半導體行業European SEMI 2004獎。

PICOSUN公司憑借其杰出的生產型與科研型產品，于2022年6月加入美國應用材料公司。

PICOSUN產品分為科研型與生產型。

科研型產品有：

標準型PICOSUN™ R-200 Standard，只有熱法原子層沉積系統

高級型PICOSUN™ R-200 Advanced，有熱法原子層沉積系統與等離子體增強原子層沉積系統

高級型ALD可以添加前沿的微波等離子體輔助增強模塊Microwave Plasma, 這種微波等離子體增強原子層沉積系統在顆粒、薄膜致密性表現更好，同時有可能沉積具有挑戰性的一些氮化物薄膜，如氮化硅等。