奧林巴斯工業激光共焦顯微鏡 LEXT OLS4100采用了有著高N.A. 的物鏡和光學系統（能zui大限度發揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以精確地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測量。

奧林巴斯工業激光共焦顯微鏡 LEXT OLS4100 產品簡介

準確的測量

采用了有著高N.A. 的物鏡和光學系統（能zui大限度發揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以精確地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測量。

高度分辨率10 nm，輕松測量微小輪廓
 
由于奧林巴斯工業激光共焦顯微鏡 LEXT OLS4100采用405 nm 的短波長激光和更高數值孔徑的物鏡，OLS4100 達到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以對樣品的表面進行亞微米的測量。結合高精度的0.8 nm 的光柵讀取能力和軟件算法，例如奧林巴斯開創的I-Z 曲線（請參閱第23 頁），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。

克服反射率的差異

LEXT OLS4100 全新的多層模式則可以識別多層樣品各層上反射光強度的峰值區域，并將各層設為焦點，這樣即可實現對透明樣品上表面的觀察和測量，而且也可以對多層樣品的各層進行分析和厚度測量。

多層模式

LEXT OLS4100 全新的多層模式則可以識別多層樣品各層上反射光強度的峰值區域，并將各層設為焦點，這樣即可實現對透明樣品上表面的觀察和測量，而且也可以對多層樣品的各層進行分析和厚度測量。

觀察／測量透明材料的各個層

多層模式可實現對透明樣品的頂部的透明層進行觀察和測量。即使在玻璃基片上覆有一層透明樹脂層，也可測量出各層的形狀和粗糙度以及表面覆膜的厚度。

正確性和重復性
 
通常表示測量儀器的測量精度的，有2 個指標："正確性"，即測量值與真正值的接近程度，和"重復性"，即多次測量值的偏差程度。OLS4100 是業界*同時保證了"正確性"和"重復性"的激光掃描顯微鏡。

追溯體系

儀器從物鏡制造到成品全部在奧林巴斯工廠內完成，并按照一系列嚴格的標準進行全面的檢驗并確保產品的質量后方才出廠 。交付產品時，由選拔出來的技術人員，在實際使用環境中執行校正和zui后的調整。

工作流程解決方案，實現了完整的圖像分析性能

對于粒子尺寸分析或非金屬夾雜物級別的測量，可以使用OLYMPUS Stream 顯微圖像軟件，該軟件可以從OLS4100 直接上傳。

更精準的粗糙度測量

作為表面粗糙度測量的新標準，奧林巴斯開發了LEXT OLS4100。對LEXT OLS4100 進行了與接觸式表面粗糙度測量儀同樣的校正，并在LEXT OLS4100 上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數和濾鏡。這樣，對于使用接觸式表面粗糙度測量儀的用戶來說，能得到操作性和互換性良好的輸出結果。另外，還搭載了粗糙度模式，可以用自動拼接功能測量樣品表面直線距離zui長為100 mm 的粗糙度。 OLS4100 具有與接觸式表面粗糙度測量儀相同的表面輪廓參數，因此具有相互兼容的操作性和測量結果。