支持三重四極桿技術的 Thermo Scientific™ iCAP™ TQs ICP-MS 是一種高性能 ICP-MS，適用于在與半導體行業(yè)相關的多種挑戰(zhàn)性基質中進行痕量元素超痕量定量檢測。在不犧牲其作為靈敏、易用的工作臺儀器所具備的檢測能力的前提下，具有三重四極桿技術出色的干擾去除能力。

體驗超痕量分析的優(yōu)勢，并擴展實驗室應用組合，確保您的操作員能夠通過使用 Thermo Scientific Qtegra™ Intelligent Scientific Data Solution™ (ISDS) 軟件快速接受三重四極桿 ICP-MS。

Thermo Scientific iCAP TQs ICP-MS 具有更強的干擾去除能力，可更好地對各種挑戰(zhàn)性的基質中的元素雜質進行檢測。由于 iCAP TQs ICP-MS 占地面積小，加上具有簡化的工作流程并支持自動化方法開發(fā)而特別易于使用，使其成為用于確保關鍵生產工藝一致性和提高半導體硅片加工產量而進行在線質量控制的理想檢查工具。

使用 iCAP TQs ICP-MS，超越三重四極桿 ICP-MS 性能及易用性的界限：

• 強大的三重四極桿技術，可提高干擾去除能力和分析的正確性。
• 進行超低甚至挑戰(zhàn)性基質檢測。
• 使用的反應查詢方法開發(fā)助手輕松進行快速設置。
• 通過集成式反應氣體處理功能，進行可靠的儀器操作。
• 干燥前級真空泵確保室內環(huán)境清潔。