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PFA吸收瓶在半導體行業特種氣體純化技術的應用

來源: 南京瑞尼克科技開發有限公司    2025年05月12日 15:22  

品名:PFA吸收瓶
規格:60ml
貨號:RNKW-PFAXSP-60ml
蓋子上螺帽連接管尺寸1/4英寸,支持定制加工

電子特氣是一類高純度,具有特殊化學性質的氣體,專門用于半導體,集成電路,顯示面板,LED,光伏等電子工業的生產過程中。這些氣體通常需要達到的純度標準,如99.999%(5N)或更高,以確保電子器件的性能和可靠性。

電子特氣(電子特種氣體)在半導體制造中至關重要,其純度直接影響芯片的性能和良率。PFA(可溶性聚四氟乙烯)吸收瓶因其優異的化學穩定性、耐腐蝕性和低本底值,成為電子特氣純化(如鼓泡法)的關鍵設備。以下是PFA吸收瓶在電子特氣領域的應用及特點:

1. PFA吸收瓶的作用

PFA吸收瓶主要用于電子特氣的純化,通過鼓泡法(吸收法)去除氣體中的金屬雜質、水分和其他污染物。其工作原理是讓不純氣體通過裝有特定吸收液的PFA瓶,雜質被液體吸附或發生化學反應,從而提高氣體純度

2. 主要應用場景

半導體制造:用于晶圓生產中的CVD(化學氣相沉積)、刻蝕、摻雜等環節的特氣純化

光伏與鋰電行業:高純氣體處理,確保材料純度

金屬雜質分析:如氫氣中的金屬檢測,采用多級PFA吸收瓶串聯

PFA吸收瓶的核心優勢

耐腐蝕性:可耐受強酸(如氫氟酸、王水)、強堿及有機溶劑

高純度:金屬雜質含量極低(鉛、鈾<0.01ppb),避免污染氣體

耐溫范圍廣:-200℃至260℃,適用于實驗條件

透明可視:半透明材質便于觀察反應過程

可定制化:支持不同尺寸(60ml~3000ml)、連接方式(1/4"、3/8"管路)及多級串聯設計


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