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半導(dǎo)體加工行業(yè)中,經(jīng)常使用的UV固化設(shè)備,使用氮?dú)獯祾遀V燈的有著非常重要的作用,主要原因包括以下幾個(gè)方面:
1. 防止臭氧生成
UV燈(尤其是短波長UVC)會(huì)分解空氣中的氧氣(O?)生成臭氧(O?)。臭氧具有強(qiáng)氧化性,可能腐蝕設(shè)備部件(如光學(xué)元件、傳感器)或污染半導(dǎo)體材料。氮?dú)獯祾咄ㄟ^降低氧氣濃度,明顯減少臭氧的生成,從而保護(hù)設(shè)備和工藝環(huán)境。
2. 提高固化質(zhì)量
氧氣可能干擾光固化反應(yīng)的化學(xué)過程。例如,氧氣會(huì)與光引發(fā)劑產(chǎn)生的自由基發(fā)生反應(yīng),阻止聚合反應(yīng),導(dǎo)致固化不或表面發(fā)黏(氧阻聚效應(yīng))。在無氧環(huán)境中,固化反應(yīng)更快速、,尤其對(duì)深層或高精度涂層至關(guān)重要。
3. 延長UV燈壽命
UV燈在高溫運(yùn)行時(shí),燈管內(nèi)部的金屬電極和石英材料可能因氧化而劣化。氮?dú)庾鳛槎栊詺怏w可減少氧化反應(yīng),延緩燈管老化,從而延長使用壽命并降低維護(hù)成本。
4. 維持潔凈工藝環(huán)境
氮?dú)獯祾呖膳懦諝庵械乃趾臀⒘N廴疚铮_保固化環(huán)境的高度純凈。半導(dǎo)體制造對(duì)潔凈度要求非常高,任何雜質(zhì)都可能導(dǎo)致產(chǎn)品異常。
5. 穩(wěn)定光譜輸出
氧氣或其他氣體的存在可能吸收或散射紫外線,影響UV燈的光強(qiáng)和波長穩(wěn)定性。氮?dú)猸h(huán)境有助于保持紫外光的均勻性和穿透性,確保固化效果一致。
綜上所述:氮?dú)獯祾咄ㄟ^創(chuàng)造惰性、無氧、潔凈的環(huán)境,優(yōu)化了UV固化工藝的質(zhì)量和可靠性,同時(shí)保護(hù)設(shè)備免受臭氧和氧化的損害。這些因素在半導(dǎo)體制造等高精度行業(yè)中尤為重要,直接關(guān)系到產(chǎn)品性能和良率。因此監(jiān)控氧濃度來控制氮?dú)饬烤惋@得尤為重要。
如何監(jiān)控氧濃度來控制氮?dú)馐褂媚兀?/strong>
濃度監(jiān)測:通過氧傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控,確保氮?dú)饧兌龋ㄍǔR蠹兌取?9.999%),超快速響應(yīng)的氧濃度傳感器OXY-GC-168起到實(shí)時(shí)監(jiān)控的作用, 測量1ppm-20.9%的氧濃度,即對(duì)應(yīng)當(dāng)前氮?dú)鉂舛?9.1%-99.9999%氮?dú)鉂舛取2捎眠M(jìn)口的超快速氧傳感器從而保證檢測的速度和品質(zhì),響應(yīng)速度為100毫秒。使用壽命5年以上。
氧濃度傳感器OXY-GC-168
流量調(diào)節(jié):根據(jù)腔體體積和工藝時(shí)長動(dòng)態(tài)調(diào)整氮?dú)饬髁浚胶獬杀九c效果。
異常處理:若氮?dú)鉂舛炔蛔阊鯘舛壬叩綀?bào)警點(diǎn),系統(tǒng)應(yīng)觸發(fā)警報(bào)處理或暫停工藝,避免批次報(bào)廢。
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