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比表面積指每克物質中所有顆?？偙砻娣e之和，是評價催化劑、吸附劑、電池材料，陶瓷材料，石油及其他多孔物質如石棉、礦棉等礦物工業利用的重要指標之一。比表面儀就是測定比表面積的主要儀器。在使用過程中，比表面儀經常會出現真空度異常的問題。真空故障會使樣品處理和測試無法進行。因此操作人員需要掌握導致真空故障的原因以及處理方法，在出現問題時及時解決，使測試順利進行。
1.脫氣站真空故障
原因：比表面儀長期進行樣品脫氣處理，會出現大量水汽或低沸點溶劑類雜質冷凝在冷阱管的情況，導致油泵運行負荷增加而抽不到真空。
處理方法：拆下冷阱管清洗并烘干安裝。日常注意每天補滿冷阱用杜瓦瓶液氮，定期用溫水融化杜瓦罐內的冰塊并清洗以保證冷阱管處于液氮溫度下。并保持2個月左右進行一次冷阱系統維護。
同時觀察脫氣站用油泵泵油刻度和顏色以及油氣阱中氧化鋁球性狀，根據泵油高度、顏色和氧化鋁球性狀有選擇性的進行更換，連接到主機接口抽真空。注意新氧化鋁球使用前需要烘干。
2.分析站真空故障
原因：干泵故障。將分子渦輪泵前驅干泵用于脫氣站抽真空，脫氣站真空不達標，即可確認是干泵故障。
處理方法：拆解泵體，清洗干泵隔膜室中間板和黑色塑料片并干燥后重新組裝干泵連接到主機接口抽真空。
干泵核心部件隔膜片的壽命約為8年，如果隔膜片使用8年以上，老化污染嚴重，也會導致真空度異常，需要更換新的隔膜片。
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