目錄:北京英格海德分析技術有限公司>>在線氣體分析>> HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀
HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀應用：
• 等離子體/反應性離子蝕刻研究
• CVD / PVD / MOCVD
• 半導體晶片加工研究
• 真空、等離子體過程
• 活性物質定量分析
• HF，HCl，HBr，CFC 研究
HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀特點：
• 加熱的電拋光波紋管，快速偶合連結器
• 可清除的，帶粘性流QIC校正的進樣口用于定量分析
• 高靈敏度至 5 ppb, 質量數為 2500 amu.
• 進樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓
• 電容壓力計，壓力檢測可不受分析物影響
• 穩定性好 (24h之上，小于峰高±0.5% )
• 軟件 MASsoft 控制
• 矩陣反演，歸一化及單峰參考
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