對蝕刻圖形化后的藍寶石襯底進行測量結合常規的臺階儀和掃描探針顯微鏡技術
藍寶石襯底臺階儀及干涉儀
對蝕刻圖形化后的藍寶石襯底進行測量
結合常規的臺階儀和掃描探針顯微鏡技術
長程掃描：zui大100 mm
短程掃描：采用精確的壓電陶瓷驅動掃描模式，三維掃描
范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm，適合臺 階小或特征小的臺階
■ 不用額外付費，提供3D 測量軟件
■ 測量數據兼容功能強大的SPIP 分析軟件
■ 掃描頭精心設計，避免因意外觸碰引致的損壞
■ 實時力量監控: 0.1 - 100 mg
■ 同時可選臺階儀和光學輪廓儀的功能，節省空間
■ 探針測量采用高精度的光學傳感器
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