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ZD03-9 雙電測(cè)四探針測(cè)試儀 雙電測(cè)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)

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RTS-9型雙電測(cè)四探針測(cè)試儀采用了四探針雙電測(cè)組合(亦稱雙位組合)測(cè)量新技術(shù),將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測(cè)量,能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。

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雙電測(cè)四探針測(cè)試儀 雙電測(cè)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)

型號(hào)ZD03-9

RTS-9雙電測(cè)四探針測(cè)試儀 雙電測(cè)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)采用了四探針雙電測(cè)組合(亦稱雙位組合)測(cè)量新技術(shù),將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測(cè)量,能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。因而每次測(cè)量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測(cè)量都是對(duì)幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測(cè)量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的。

RTS-9雙電測(cè)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序。測(cè)試程序在計(jì)算機(jī)與RTS-9型四探針測(cè)試儀連接的狀態(tài)下,通過計(jì)算機(jī)的并口實(shí)現(xiàn)通訊。

測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的測(cè)試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

技 術(shù) 指 標(biāo):

測(cè)量范圍電阻率:10-4105Ω.cm(可擴(kuò)展)

方塊電阻:10-3106Ω/(可擴(kuò)展)

電導(dǎo)率:10-5104s/cm

電阻:10-4105Ω

可測(cè)晶片厚度≤3mm

可測(cè)晶片直徑140mmX150mm(S-2A型測(cè)試臺(tái))

200mmX200mm(S-2B型測(cè)試臺(tái))

400mmX500mm(S-2C型測(cè)試臺(tái))

恒流源電流量程分為1μA10μA100μA1mA10mA100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表量程及表示形式:000.00199.99mV;    

分辨力:10μV

輸入阻抗:>1000MΩ

精度:±0.1%

顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動(dòng)顯示;

四探針探頭基本指標(biāo)間距:1±0.01mm

針間絕緣電阻:≥1000MΩ

機(jī)械游移率:≤0.3%

探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm

探針壓力:516牛頓(總力)

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)(見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差

(JJG508-87進(jìn)行)0.01Ω0.1Ω1Ω10Ω100Ω1000Ω10000Ω≤0.3%±1

整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±4%

整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤4%

計(jì)算機(jī)通訊接口并口

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境溫度:23±2

相對(duì)濕度:≤65%

無高頻干擾;

無強(qiáng)光直射;

 


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