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DJ9-KDY-1 數字式四探針測試儀

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 北京東目儀器有限公司
  • 品牌
  • 型號 DJ9-KDY-1
  • 所在地 北京市
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2015/12/16 13:00:00
  • 訪問次數 544

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KDY-1型四探針電阻率/方阻測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導電薄膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。

詳細信息 在線詢價

KDY-1型四探針電阻率/方阻測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導電薄膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試架及四探針頭組成。

本儀器的特點是主機配置雙數字表,在測量電阻率的同時,另一塊數字表(以萬分之幾的精度)適時監測全程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉換,更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩定。本機配有恒流源開關,在測量某些薄層材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生,更好地保護箔膜。儀器配置了本公司的產品:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如加配HQ-710E數據處理器或KDY測量系統,測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正,并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度,給測量帶來很大方便。

主機技術能數

(1)測量范圍:

可測電阻率:0.0001~19000Ω·cm

可測方塊電阻:0.001~190000Ω·□

(2)恒流源:

輸出電流:DC 0.001~100mA 五檔連續可調

量程:0.001~0.01mA 0.01~0.10mA

0.10~1.0mA 1.0~10mA 10~100mA

恒流精度:各檔均低于±0.05%

(3)直流數字電壓表:

測量范圍:0~199.99mV

靈敏度:10μV

基本誤差:±(0.004%讀數+0.01%滿度)

輸入阻抗:≥1000MΩ

(4)測量精度:電器精度:1-1000歐姆≤0.3%

整機測量精度:1-1000歐姆·厘米≤3%

(5)供電電源:

AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W

(6)使用環境:溫度:23±2℃ 相對濕度:≤65%

無較強的電場干擾,電源隔離濾波,無強光直接照射

(7)重量、體積:

主機重量:7.5kg

體積:365×380×160(單位:mm 長度×寬度×高度)


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