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YZDO8-2C 微電子等離子清洗機YZDO8-2C

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微電子等離子清洗機YZDO8-2C

等離子清洗機型號:YZDO8-2C
? 不銹鋼艙體:Φ100mm×270mm
? 處理過程:分手動與自動控制
PLC觸摸屏控制
? 功率:150W
? 電源:220V
? 射頻電源:40KHz(13.56KHZ可選配)
? 外形型號:440*390*200
容量:2升

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微電子等離子清洗機YZDO8-2C

等離子清洗機型號:YZDO8-2C
不銹鋼艙體:Φ100mm×270mm
處理過程:分手動與自動控制
PLC觸摸屏控制
功率:150W
電源:220V
射頻電源:40KHz13.56KHZ可選配)
外形型號:440*390*200
容量:2

深圳三和波達機電科技有限公司生產的等離子清洗機YZD08-2C的基本結構:
1、射頻電源部分:射頻源,射頻調節,功率放大,功率調節,功率輸出,輸出保護,等離子電極,溫度保護。
2、系統控制部分:數字自控,I/O控制,真空度A/D檢測,脈寬比例D/A調節,參數記憶,時鐘設定。
3、真空與氣路部分:真空系統,外加氣體,流量調節,回氣與管路
三和波達等離子清洗機、對于小型等離子清洗機而言,由于射頻功率較小,其射頻電源與控制都組裝在一個機箱內,一是減少空間的占用,二是便于操作和放置,同時與大型清洗機相比較,從檢測功能與控制功能的設置上盡量簡練。圖1為小型機外形。
小型等離子清洗機的工作流程和技術條件:
深圳小型等離子清洗機的系統在滿足設定真空度的條件下,啟動射頻源工作,產生40KHz 的射頻脈沖,經過功率放大送到輸出級,輸出級的作用有三點:一是隔離,二是升壓,三是匹配,使具有足夠能量的射頻脈沖去激發高壓極板產生等離子。
功率大小的控制與調節可在系統中進行數字設置,也可通過手動調節。實質上功率的調節是由改變射頻脈沖寬度來實現的,圖4和圖5兩個射頻脈沖坐標示意圖很形象的說明了功率調節的原理。
這里所說的理想情況下的射頻脈沖輸出,是不考慮器件和磁性材料的損耗而表示的,實際的射頻脈沖波形都是有一定畸變的,但當畸變程度過大時,就會使輸出的有效功率大大降低,不僅不能正常產生等離子,而且還會燒毀設備。另外過多諧波脈沖分量也會造成射頻效率的降低,使設備不能正常工作,甚至燒毀。因此等離子清洗機對射頻電源的技術要求是很高的


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