許多減排系統是“開環”運行的, 導致天然氣和氮氣消耗量較高. 此外, 通常不會對減排成功的分析數據進行監控和記錄, 從而使公司面臨環境監管責任. 使用上海伯東 Atonarp Aston™ 質譜分析儀, 可以根據進入的廢氣濃度和測量的排放氣體數據, 記錄日志, 對減排燃燒過程進行現場優化控制, 以記錄環境合規性.半導體有害氣體排放監測用在線質譜分析儀

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上海伯東日本 Atonarp Aston™ 質譜儀保護環境免受有害氣體排放污染
半導體和薄膜太陽能工藝使用并產生各種工藝氣體和顆粒材料副產品, 有害氣體需要以受控方式進行處理. 許多廢料的處理受環境法規的規定，如美國 NESHAP 標準. 此規則規定的主要有害空氣污染物包括但不限于占有害空氣污染物排放總量 90% 以上的五種化學物質: 鹽酸 HCl , 氟化氫 HF, 乙二醇醚, 甲醇, 和二甲苯.

美國對混合空氣毒物工藝通風孔 (有機和無機) 的排放限值為 14.22 PPM（按體積計算）. 監測并銷毀額外的全氟化碳氣體 PFC 和硅烷 SiH4 等自燃氣體.

問題
減排面臨著多重挑戰. 需要監測來自減排系統的環境廢氣, 以確保符合法規要求, 需要一款具有高靈敏度, 實時, 現場計量, 且精度達到 PPM 級的質譜分析儀. 此外, 優化減排需要測量廢氣中進入減排系統的污染物濃度, 從而可以調節氮氣稀釋和減排燃燒氣體消耗量, 以確?？焖偃コ廴疚? 天然氣 (甲烷) 通常用于普通燒洗減排系統中的高溫熱氣體分解, 優化其使用可降低減排過程成本和二氧化碳排放.

上海伯東 Aston™ 質譜分析儀提供有害氣體排放污染解決方案: 數據驅動的減排
許多減排系統是“開環”運行的, 導致天然氣和氮氣消耗量較高. 此外, 通常不會對減排成功的分析數據進行監控和記錄, 從而使公司面臨環境監管責任. 使用 Atonarp Aston™ 質譜分析儀, 可以根據進入的廢氣濃度和測量的排放氣體數據, 記錄日志, 對減排燃燒過程進行現場優化控制, 以記錄環境合規性. Aston™ Plasma 質譜分析儀能夠承受嚴酷的 PFC 和酸性 (如 HF 和 HCl ）氣體, 并能提供低至 PPB 水平的靈敏度.  通過快速, 準確的現場計量, 實現快速地減排氣體監測和廢氣環境合規性.

Atonarp  Aston™ 質譜分析儀技術參數

若您需要進一步的了解 Atonarp  Aston™ 在線質譜分析儀詳細信息或討論, 請聯絡上海伯東葉女士
 
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 半導體有害氣體排放監測用在線質譜分析儀
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