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SPS-2000, SPS-2200 SPS-2200手動探針臺

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美國MicroXact為專業的高品質探針臺生產商,邁銳(MicroXact)公司探針臺有手動探針臺、半自動探針臺、低溫探針臺、三維磁體探針臺等。手動探針臺的主要型號:SPS-2200手動探針臺。

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美國MicroXact為專業的高品質探針臺生產商,邁銳(MicroXact)公司探針臺有手動探針臺、半自動探針臺、低溫探針臺、三維磁體探針臺等。手動探針臺的主要型號:SPS-2200手動探針臺。

 

SPS-2200手動探針臺技術規格:

技術規格

SPS-2000

SPS-2200

樣品尺寸

不大于 150mm

不大于200mm

樣品臺XY移動范圍

155mmx155mm

200mmx200mm

樣品臺XY移動分辨率

5um

5um

樣品臺XY移動軸承

精確橫軋輥

精確橫軋輥

臺面移動

12.7mm

12.7mm

臺面調整

粗調及細調,1.5mm重現性

粗調及細調,1.5mm重現性

臺面平整度

<12.7um (150mm臺面)

<12.7um (200mm臺面)

臺面剛性

<50um (4.5公斤承重)

<50um (4.5公斤承重)

真空卡盤

多區域真空吸附

多區域真空吸附

卡盤平整度

+/-13um

+/-13um

卡盤擊穿電壓

>500V

>500V

卡盤絕緣性

>1GW

>1GW

卡盤調節

360度粗調,+/-6度細調

360度粗調,+/-6度細調

顯微鏡

高品質立體顯微鏡,放大倍率:3.5X~180X,工作距離:200mm;

多種高倍顯微鏡;

高品質立體顯微鏡,放大倍率:3.5X~180X,工作距離:200mm;

多種高倍顯微鏡;

電學接口

BNC, Triax or Banana plug

BNC, Triax or Banana plug

尺寸

78cm x 80cm x58cm (W x D x H)

128cm x 122cm x 92cm (W x D x H)

重量

85kg ~ 95kg

85kg ~ 100kg

樣品快速裝載選件

不包括

包括


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