快速退火爐（RTP/RTA）是半導體材料和器件常用的一款工藝設備。大尺寸快速退火爐（12英寸）可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環境下使用。

       快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設備。大尺寸快速退火爐(12英寸)可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環境下使用。
 

　　大尺寸快速退火爐(12英寸)是一款很有特點的快速退火爐，有非常大的退火空間，適合大尺寸樣品的熱處理。
 

　　儀器特點：
 

　　-  快速熱處理、快速熱退火  RTP / RTA；
 

　　-  可在真空、甚至于高真空環境使用；
 

　　-  加熱區域尺寸：300毫米 X 300毫米；
 

　　-  廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝，如156mm X 156mm電池片，300mm X 300mm電池片等；
 

　　參考用戶：
 

　　中科院上海技術物理所，*41所。
 

　　上海載德半導體技術有限公司是專業的半導體及微電子領域儀器設備供應商，上海載德所代理的儀器設備廣泛用于高校、研究所、半導體*。
 

　　上海載德半導體技術有限公司目前代理的主要產品包括：
 

　　- 霍爾效應測試儀(Hall Effect Measurement System)；
 

　　- 快速退火爐(RTP)；
 

　　- 回流焊爐，真空燒結爐(Reflow Solder System)；
 

　　- 探針臺(Probe Station)，低溫探針臺(Cryogenic Probe Station)；
 

　　- 貼片機(Die Bonder)，劃片機(Scriber)，球焊機/鍥焊機(Wire Bonder)；
 

　　- 原子層沉積系統(ALD)，等離子增強原子層沉積設備(PEALD)；
 

　　- 磁控濺射鍍膜機(Sputter)，電子束蒸發鍍膜機(E-beam Evaporator)，熱蒸發鍍膜機(Thermal Evaporator)，脈沖激光沉積系統(PLD) ;
 

　　- 低壓化學氣相沉積系統(LPCVD)，等離子增強化學氣相沉積系統(PECVD)，快速熱化學氣相沉積系統(RTCVD)；
 

　　- 反應離子刻蝕機(RIE)，ICP刻蝕機，等離子體刻蝕機；
 

　　- 致冷機/低溫恒溫器(Cryostat/Cryocooler)；
 

　　- 加熱臺、熱板、烤膠臺 (Hot Chuck / Hot Plate)；
 

　　- 掃描開爾文探針系統(Kelvin Probe)，光反射膜厚儀(Reflectometer)；
 

　　- 高溫超導磁體(HTS Magnet)，快速場循環核磁共振弛豫測試儀(FFC Reflexometer)。