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返回產品中心>Agilent 7500 ICP-MS電感耦合等離子體質譜－ICP-MS，是一種新型的無機元素和同位素分析技術，可快速同時檢測周期表上幾乎所有元素。ICP-MS技術在分析能力上，超過傳統的無機分析技術如電感耦合等離子體光譜技術(ICPAES)、石墨爐原子吸收(GFAAS)和汞冷原子吸收技術(CVAAS)的總和，被稱為當代分析技術激動人心的發展。近，與分離技術聯用進行環境毒理、生命科學等領域的元素價態、形態分析成為ICP-MS技術應用的一個焦點。
可快速同時檢測周期表上幾乎所有元素
低的檢出限（低至ppq級）
分析效益/成本比
寬的線性動態范圍—可直接檢測從ppq到數百ppm濃度
譜線、干擾小，準確度和精密度好
需要樣品量很低(ul至ml)，分析速度很快（1～3分鐘/樣品）
檢測模式靈活多樣
半導體工業常用材料中超痕量污染物分析：
固體：Si;GaAa單晶切片；石英、碳化硅等爐材料；高純金屬電極等
液體：超純水；HF;HNO3;HCI;H2SO4;H2O2;氨水等
氣體：SiH4;TE0S;NF3;N2等
1、帶內置自動進樣器的7500ce ICP-MS主機；
2、真空泵；
3、循環制冷機；
4、計算機和軟件。
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