LFT1200C-II 200D50 LFT系列雙溫區真空滑軌管式爐 (含預熱爐)
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- 公司名稱 合肥康帕因設備技術有限公司
- 品牌
- 型號 LFT1200C-II200D50
- 所在地 合肥市
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2021/4/9 10:50:28
- 訪問次數 635
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LFT系列雙溫區真空滑軌管式爐 (含預熱爐)設備描述
雙溫區滑軌式CVD系統由預熱爐、雙溫區滑軌爐、 2部分組成。雙溫區滑軌爐可移動并可實現快速升降溫;PLC控制5路質子流量器,能夠精確控制系統的供氣;真空泵可實現對管式爐快速抽真空。CVD(化學氣象沉積系統)常用于表面材料生長、沉積,是一款實驗室常用設備。
LFT系列雙溫區真空滑軌管式爐 (含預熱爐)
技術參數
LFT系列雙溫區真空滑軌管式爐 (含預熱爐)LFT1200C-II 200D50 | 爐體結構 | 該設備采用雙層殼體并帶有風冷系統,使其爐體表面溫度都小于55℃ · 爐底安裝一對滑軌,可手動滑動,以便滿足特殊工藝的快速升降溫的要求。 |
爐管尺寸 | Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特殊定制。) | |
功率 | 5kW | |
輸入電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz | |
加熱元件 | Cr27Al7MO2(摻鉬鐵鉻鋁合金) | |
溫度 | 溫度:1200℃ 額定溫度:1100℃ | |
升溫速率 | ≦10℃/min(推薦) | |
加熱區長度度 | · 兩個加熱區的長度都是200mm · 分別由獨立的溫控系統控制 | |
恒溫區長 | · 100+100mm(±1℃) · 可獲得較長恒溫區間 | |
控溫精度 | · ±1℃ | |
快速連接法蘭 | · Φ50快結式不銹鋼真空法蘭 · 打開法蘭直接卸下卡箍即可,取放樣品方便 | |
預熱爐 | 功率 | · 1kw |
加熱區 | · 100mm | |
溫度 | · 1200℃ | |
工作溫度 | · 200-800℃(可根據實際工藝需求調整) |
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