ESPion 等離子體診斷
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- 公司名稱 北京英格海德分析技術有限公司
- 品牌
- 型號 ESPion
- 所在地 北京市
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2021/12/29 18:15:02
- 訪問次數 524
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ESPion高級朗繆爾探針(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、準確地進行等離子體診斷,是先進可靠的Langmuir探針。
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·Hiden在被動射頻補償方面處于*地位,在所有的商業化探針中 ESPion具有高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm)
· 參考探針補償用于抵制較低頻率影響,例如等離子體電位漂移(如,反應室內腔陽極氧化所致) 或噪音(如,供電源引起)
· 高溫等離子體操作時的氣體制冷多感應器鏈,使用者可調諧至其他頻率
·獲得數據速度: 15scans/s,
·通過D-O-E-界面可以自動/半自動/手動分析
·300、600、915mm 自動線性驅動器可選,互鎖隔離閥,
·90°探針,組合式線性-旋轉驅動器可選
·ESPion 是所有商業化探針中快速的脈沖等離子體探針,
·ESPsoft 包括所有必需的標準脈沖選通電路
·自清洗循環,防止探針污染
· 經由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft軟件控制
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