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返回產品中心>封入氙氣的準分子(Excimer)燈，（誘電體屏障放電Excimer燈） 可有效放射波長180nm以下的VUV，（真空紫外線） 達到快速的化學反應與反應速度。
日本USHIO牛尾 準分子燈特點：
單一波長、低溫處理
因為是單一波長，因此可選擇會引起化學反應的紫外線，
并可達到不使對象物產生非必要反應或熱的低溫處理。
*效率
從電力轉換為光能源的效率高（172nm型的轉換率10%)，
即使低電力亦可產生大的能量。
可瞬間亮燈滅燈
僅于必要時照射必要量的能量，
因此具備「不需要快門」、「實際上可延長使用壽命」等各種優點。
安裝方向不受限制
燈的亮燈方向不受限制，可配合生產線做立面照射。
日本USHIO牛尾 準分子燈分光分布：
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