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PXH-200 綜合型探針臺

參考價10000-300000/件
具體成交價以合同協議為準

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PXH-200探針臺具有優異的機械性能和高精度測試功能,可搭配不同的測試組件實現多種測試功能,卡盤快速移動功能,可滿足客戶對整片晶圓高效測試的需求,非常適合研發類實驗室的一次性預算購置。
測試方向:DC 直流/(IV、CV)測試、RF 射頻測試、FA 失效分析測試、低電流測試、1/f 噪聲測試、器件表征測試、老化測試、大功率/大電流及/大電壓測試等。

詳細信息 在線詢價

8" 卡盤,包含中心吸附孔和多圈吸附環,真空吸附樣品,均獨立控制
卡盤采用空氣軸承運動平臺技術,可快速大行程移動,三擋控制(X,YXY
卡盤X-Y軸移動行程:200mm*200mm,精度1μm
卡盤Z軸移動行程:10mm,精度 1μm
卡盤的旋轉角度:360,精度0.1°,帶刻度尺
卡盤電學獨立懸空,可作為背電極引出信號,臺體帶有接地端子
U型針座平臺,可升降調節適合加裝探針卡,便于針卡重定位
針座平臺快速升降行程6mm,微調行程60mm,精度1um并帶自動鎖定功能
龍門架結構設計,可調節顯微鏡在X-Y平面50mm*50mm范圍內移動,精度1微米
可調節顯微鏡氣動升降50mm,便于更換物鏡,帶升降開關




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