本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地。

3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，客戶需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）。

4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm，承重100kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：AC 220V   50Hz/60Hz  2.5KW

2、石英管：外徑?50mm，內(nèi)徑?44mm，長(zhǎng)1000mm

外徑?60mm，內(nèi)徑?54mm，長(zhǎng)1000mm

外徑?80mm，內(nèi)徑?74mm，長(zhǎng)1000mm

外徑?100mm，內(nèi)徑?94mm，長(zhǎng)1000mm

3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

4、加熱區(qū)域：440mm

5、工作溫度：最高1200℃（必須通入惰性氣體以防止?fàn)t管發(fā)生形變），連續(xù)工作1100℃

6、最大升降溫速率：20℃/min

7、控溫精度：±1℃

8、真空度：10-2torr（機(jī)械泵），10-5torr（分子泵）

9、泄漏率：<5mtorr/min

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：590mm×380mm×520mm；重量：40kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管

1根

2

不銹鋼真空法蘭

1套

可選配件

1、鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm

2、數(shù)字真空計(jì)

3、PC控制軟件