LZU系列超高真空兼容性直線運(yùn)動(dòng)模組可以為幾公斤的負(fù)載提供長(zhǎng)行程直線位移。高精度滾珠導(dǎo)軌適用于扭轉(zhuǎn)載荷較小的簡(jiǎn)單復(fù)合機(jī)構(gòu)中。平滑的運(yùn)動(dòng)由高精度滾珠絲桿搭配精密滾珠螺母提供，以確保良好的位置穩(wěn)定性，并包含預(yù)加載絲桿螺母以消除齒隙。傳動(dòng)部分配合低飽和蒸氣壓潤(rùn)滑脂，使運(yùn)動(dòng)更加平滑且不對(duì)真空度造成影響。驅(qū)動(dòng)方式采用真空步進(jìn)電機(jī)，可選擇安裝限位開關(guān)或脈沖信號(hào)位置控制方式。產(chǎn)品采用超高壓兼容材料和加工方法，避免材料對(duì)使用環(huán)境造成的影響。