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充氮氣烤箱

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一般用于材料及產品的應力釋放,特別是晶圓或者微電子材料的應力釋放。在高溫環境中,半導體及金屬材料極易氧化,所以需要抽真空與充氮氣聯動加以保護

詳細信息 在線詢價

  • 產品用途:

    一般用于材料及產品的應力釋放,特別是晶圓或者微電子材料的應力釋放。在高溫環境中,半導體及金屬材料極易氧化,所以需要抽真空與充氮氣聯動加以保護。同樣的這些材料也更容易受到灰塵污染,100級甚至更高的潔凈度可保護這些材料不被污染。

    型號

    ZK-DQKX-072

    ZK-DQKX-270

    ZK-DQKX-480

    ZK-DQKX-600

    ZK-DQKX-720

    ZK-DQKX-1000

    內箱尺寸

    40×45×40

    60×90×50

    80×100×60

    100×100×60

    100×120×60

    100×100×100

    W×H×D (cm)

    外箱尺寸

    72×116×56

    93×163×67

    110×172×77

    130×172×77

    116×170×116

    116×150×166

    W×H×D(cm)

    溫度范圍

    室溫+25℃~200℃(300℃) RT+25℃~200℃(300℃)

    溫度波動度

    ±0.3℃

    溫度均勻度

    ±1%℃

    解析精度

    0.1℃

    氧氣濃度

    0-2000 PPM

    升溫時間

    30分鐘

    外箱材質

    冷軋板+烤漆

    內箱材質

    SUS#201不銹鋼板(200℃以上材質為SUS#304不銹鋼板)

    隔熱材質

    *

    循環系統

    離心風機風循環系統

    加熱系統

    SUS#不銹鋼高速加熱器

    控制系統

    按鍵式數顯控制器

    氮氣系統

    流量計+壓差表(選配氧氣分析儀)

    附件

    控制狀態指示燈,隔層架(2個,高度可調)

    安全裝置

    相序保護,超溫,過流,過載

    電源

    AC 3Ψ 380V 60/50Hz

    定制服務

    非標特殊要求,可定制

    結構設計:

    A、材質:內部采用不銹鋼板制造,外部SS41鋼板鐵材加防銹處理及粉體烤漆

    B、保溫:采用高密度100K的耐高溫保溫棉﹐六面保溫絕熱。

    C、門   :單開門式,美式全開后鈕,門四周皆裝置耐高溫硅膠迫緊,堅固耐用.

    D、換氣裝置:換氣量采用全進全出可調式風門,可直接與排風管連接.

    E、機臺滑輪:采滑輪移動調整擺放位置與強力螺栓固定位置

    F、箱內盤架:標配可活動調整柵盤架或不銹鋼條狀柵盤二只

    G、送風系統:特制耐高溫烤箱專用馬達,配合多翼式風輪高速運轉及單面水平送風循環,溫度均勻。

    H、電熱系統:采用覆套式電熱器無塵化電熱發生器,低輻射熱不易氧化,耐用期限5~10年。

    產品特點:

    1. 內外箱材質:外箱為鋼板烤漆 內膽為鏡面不銹鋼

    2. 保溫材質: 高效壓縮*

    3. 保溫裝置: 無熔絲開關,超溫保護開關,瓷質保險絲

    4. 配 件: 可調隔層板2-6件

    5. 電 源: 3ф380VAC±10%或2ф220VAC±10%在地

    6. 風機延時斷電功能(可另購配程控)

    7.高溫氮氣烘箱保險裝置: 次超溫報警,第二次超溫切電功能,MCCB過載保護,溫度自整定,電熱鰭片式散熱管形電熱管

    8. 運風系統: 強制送風循環系統及特別設計出風口,溫度分布均勻度特佳

    9. 控制形成 :溫度到達設定溫度后自動打開時間計,時間到達后切斷發熱電源,蜂鳴提示


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