納米探測平臺是一種的解決方案，它將mibot納米機械手轉(zhuǎn)變?yōu)閺姶蟮募{米探針，用于掃描電鏡中半導(dǎo)體器件和材料的原位電特性表征。精心設(shè)計以盡量減少對測量信號的干擾，泄漏電流可低至100 fa/v。屏蔽電纜將每個探頭從舞臺連接到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的引線連接器。這個平臺允許您在幾個毫米的工作空間上獨立放置多達(dá)8個探針，分辨率高達(dá)納米。最后但并非最不重要的是，舞臺緊湊的設(shè)計使得這種解決方案甚至對那些顯微鏡有一個小真空室的人來說也是可行的。