主要特點

• 靈敏度: 10^-13~10⁰Pa?m³/s【He】
• 氦氣排氣速度：3 L/S
• 的本底恢復性能和極短的節拍時間
• 大屏幕液晶觸摸顯示面板，操作便捷
• 分析管采用長壽命的鍍氧化釷銥燈絲（內置兩根）
• 采用非接觸式干泵為無塵室提供更優化的真空系統
• 無油/無塵/三年免維護（干泵）

應用領域

• 半導體和平板顯示器制造
• LED制造
• 鍍膜設備
• 制冷設備和空調的元件及部件
• 低溫壓力容器
• 閥門氣密性
• 撿漏航空部件，配件及系統