BZHX-PFAZLFY 氟化氫反應裝置PFA平底燒瓶氟化物蒸餾提純
參考價 | ¥ 9800 |
訂貨量 | ≥3個 |
- 公司名稱 南京濱正紅儀器有限公司
- 品牌 南京濱正紅
- 型號 BZHX-PFAZLFY
- 所在地 南京市
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/5/8 14:19:30
- 訪問次數 24
參考價 | ¥ 9800 |
訂貨量 | ≥3個 |
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氟化氫(HF)作為半導體、電子材料、化工合成等領域的關鍵原料,其高純度制備對設備材質和工藝控制要求嚴苛。PFA(全氟烷氧基聚合物)蒸餾冷凝裝置憑借其優異的耐腐蝕性、高溫穩定性和低金屬析出特性,成為氟化氫制備中的核心設備。以下從裝置介紹、搭配方案、應用場景三方面展開分析
氟化氫反應裝置PFA平底燒瓶氟化物蒸餾提純
耐腐蝕性能
PFA材料對HF、王水、強酸強堿等腐蝕性介質具有高度耐受性,確保設備在長期運行中不被腐蝕,避免金屬離子污染產品。
典型案例:在電子級氫氟酸(EL級,金屬雜質<1ppb)生產中,PFA裝置可替代傳統玻璃或哈氏合金設備,顯著降低雜質引入風險。
高溫穩定性
PFA長期使用溫度范圍為-200℃至+260℃,可承受氟化氫制備過程中的高溫蒸餾(如250℃)和低溫冷凝(如-80℃)工藝。
對比優勢:相比PTFE(聚四氟乙烯),PFA在高溫下更不易發生蠕變,確保設備密封性和結構完整性。
低金屬析出與高純度保障
PFA材料金屬元素析出量極低(如Na、Fe、Cu等元素析出<0.1 ppb),滿足半導體級氫氟酸對金屬雜質控制的嚴苛要求。
典型應用:在12英寸晶圓清洗用氫氟酸生產中,PFA裝置可實現金屬雜質總量<0.5 ppt,顯著優于行業標準的1 ppt。
透明性與工藝可視化
PFA半透明特性便于實時觀察蒸餾過程中的液位、顏色變化和氣泡現象,為工藝優化提供直觀依據。
基礎配置
蒸餾單元:PFA圓底燒瓶(250mL-5L)或PFA夾套反應釜,搭配PFA蒸餾頭、四氟乙烯密封墊圈,確保高溫高壓下的密封性。
冷凝單元:PFA蛇形冷凝管或PFA螺旋冷凝器,采用液氮或乙醇-干冰混合物作為冷媒,實現HF氣體的高效冷凝。
收集單元:PFA接收瓶(100mL-2L),帶PFA放液閥,便于無污染轉移產品。
進階配置(針對高純度需求)
精餾塔模塊:PFA填料塔(填料材質為PFA或PTFE),理論塔板數可達50級以上,配合PFA再沸器,實現HF的深度提純。
惰性氣體保護系統:采用高純氮氣(純度≥99.999%)作為保護氣,通過PFA氣體分布器均勻通入蒸餾系統,避免空氣中的水分和氧氣污染產品。
在線監測系統:集成PFA材質的pH電極、電導率儀和金屬雜質分析儀,實時監測蒸餾過程中的雜質含量。
安全與環保配套
尾氣處理系統:PFA堿液吸收塔(吸收劑為NaOH溶液),處理未冷凝的HF尾氣,確保排放達標。
防爆設計:采用防爆電機、防爆電磁閥和防爆控制柜,確保裝置在易燃易爆環境下的安全性。
半導體行業
電子級氫氟酸生產:通過PFA蒸餾-精餾-亞沸蒸餾組合工藝,制備G5級(金屬雜質<10 ppt)氫氟酸,用于12英寸晶圓清洗和蝕刻。
典型案例:某半導體企業采用PFA裝置后,晶圓良率提升15%,金屬污染導致的報廢率下降至0.01%以下。
光伏行業
單晶硅制絨用氫氟酸制備:PFA裝置可實現HF中Fe、Cu等金屬雜質<1 ppb,滿足PERC電池制絨工藝對氫氟酸純度的要求。
化工合成
含氟聚合物單體生產:在四氟乙烯(TFE)和六氟丙烯(HFP)的合成中,PFA裝置用于回收和提純副產物HF,提高原料利用率。
氟化氫反應裝置PFA平底燒瓶氟化物蒸餾提純氟化氫反應裝置PFA平底燒瓶氟化物蒸餾提純
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