Janis CCR閉循環系列探針臺為研究人員提供了真空和低溫測試功能,而無需使用液氦,液氮制冷。4 K、10 K和80 K低溫恒溫器使用成熟的GM制冷機冷卻樣品,性能可靠且價格合理。典型應用包括MEMS、納米級電子、超導、鐵電、材料科學和光學。
Janis CCR閉循環系列探針臺為研究人員提供了真空和低溫測試功能,而無需使用液態制冷劑。4 K、10 K和80 K低溫恒溫器使用成熟的Gifford-McMahon(GM)技術進行可靠且價格合理的樣品冷卻。典型應用包括MEMS、納米級電子、超導、鐵電、材料科學和光學。
配置:
● 振動小于1 µm
● 溫度范圍(安裝了4個探頭臂)從4.5 K到350 K(可選:6.5 K到475 K或6.5 K到675 K)
● 最多可容納2英寸(51毫米)直徑的晶圓(可選:8英寸[200毫米])(有關更多詳細信息,請參見規格表)
● 多達八個冷卻,易于互換的微操作探針臂
● 直流至67 GHz的電學測量
● 性價比高的LF探針,易于更換
● 三軸探頭臂的泄漏電流非常低(在1 V時通常為1至2 fA)
● 非接觸式,非破壞性的Kelvin探針
● 多頭探針
● 帶有單模和多模光纖選件的光纖探頭臂
● 帶有電纜和電線的附加電氣穿通線到樣品區域
● 可選的特殊微型真空腔,可將真空狀態下的樣品從手套箱轉移到探針臺
● 適用于所有單筒望遠鏡系統組件的精確平移xyz行程平臺
● 可選的可移動樣品座
● 客戶定制選件
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