美國 Lake Shore CRX-6.5K探針臺是一個低成本不需要低溫制冷劑的探針臺，它可以對器件進行非破壞性的測試，器件的尺寸可達到51mm(2inch)。它可以對材料或器件的電學特性測量、光電特性測量、參數測量、high Z測量、DC測量、RF測量和微波特性測量提供一個測試平臺。一般來講，納米電子材料、量子線、量子點和半導體材料是在CRX- 6.5K進行測量的比較典型的材料。系統的探針、測試電纜、樣品架都有多種類型可供選擇，從而滿足不同用戶的需要。
| 產品介紹 |
使用Sumitiomo 公司的6.5K閉循環制冷機，不需要消耗液氦和液氮，CRX- 6.5K的溫度變化范圍10K到350K，加上一個可以更換的高溫樣品架選件，溫度變化范圍20K到675K。每一個低溫樣品級都安裝溫度計和加熱器，可以提供快速的熱響應，快速迅速回到室溫，樣品更換非常方便。熱輻射屏大大降低了黑體輻射，提高了制冷效率。
系統采用了精心的設計來減低振動，采用各種減震裝置阻止機械振動影響測量的性能。在全量程溫度范圍內，樣品的振動小于1um ( X, Y, Z軸)。
美國 Lake Shore CRX-4K最多可安裝6個可以進行微調整的探針臂，每個探針臂上的探針都可以進行3維方向上的定位。微波探頭可以±5°旋轉，使樣品可以更好的和探針匹配。DC探針低噪音，低漏電流，熱接觸好。RF探針可以頻率到67GHz.，光線可以從窗口入射，也可以通過光纖導入。專用的探針根據尺寸和材料不同，分為多種類型，探針減少了熱質量，優化了和器件的電接觸性。每個探針都直接和冷頭進行導熱，這樣就減小了探針對樣品的熱傳遞。
| 產品特點 |
● 采用閉循環制冷機制冷，不需消耗任何液氮或液氦，基本系統溫度范圍：10K到350K
● 高溫選件溫度范圍：20K到675K
● 系統冷卻時間<3.5小時
● 探針臂分別在防輻射屏和樣品臺上熱沉，溫度可以達到25K
● 探針臂傳上安裝溫度感器進行溫度監測
● 控溫穩定性：±50mK
● 樣品更換循環時間4小時
● 低振動設計：在樣品臺<2μm ( X, Y, Z軸)
● 測量DC到67GHz
● 各種樣品架適于低噪音，高頻，高阻測量
● 測試樣品尺寸51mm（2in）直徑
● 最多可使用6個探針臂
● 探針臂可進行3軸調整和平面內±5度的調整
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