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氦質譜檢漏儀

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安捷倫氦質譜檢漏儀,是一款安捷倫生產的進口氦質譜檢漏儀。

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氦質譜檢漏儀


安捷倫氦質譜檢漏儀,是一款安捷倫生產的進口氦質譜檢漏儀。



氦質譜檢漏儀(MSLD)
選擇性氦離子探測儀(SIPD)

便攜式
臺式
移動式
移動式
模塊式
手持吸槍式
訂貨號
G8600A
G8600B
G8602A
G8602B
G8601A
G8601B

G8603A

型號
VS PR02
VS PD03
VS BR15
VS BD30
VS MR15
VS MD30
959
VS C15
PHD-4
前級泵

DS 42
油封旋片泵

干式泵
組合
DS 302
油封旋片泵

TriScroll 620
旋渦式干泵

DS 302 油封旋片泵
TriScroll 620
渦旋式干泵
渦旋式干泵或油封旋片泵
分子泵
名義抽速m3/hr (l/min)
2 (34)
3 (50)
14 (232)
30 (500)
14 (232)
30 (500)
根據需要選配
根據需要選配
最小可檢漏
5 x 10-12 atm cc/sec: 5 x 10-12 mbar l/s: 5 x 10-13 Pa m3/sec
2 x 10-9 atm cc/sec
5 x 10-10 atm cc/sec
5 x 10-6 atm cc/sec
5 x 10-6 mbar l/s
5 x 10-7 Pa m3/sec
測試口壓力
13 mbar: 10 Torr: 1330 Pa
1 Torr
5 Torr, 7 mbar, 667 Pa
校準
自動或手動(內部或外部)
手動
自動或手動(內部或外部)
氦本底清零
一鍵式自動清零(自動本底追蹤)
手動
一鍵式自動清零(自動本底追蹤)
自動或手動
通訊接口
RS232 和analog (標配)、I/O 接口(選配)
Analog
RS232, analog, I/O 接口,和Profinet
Analog 和RS-232串口(標配)
設定點
5 個設定點(N/O 或N/C)(3 個漏率,1 個壓力,1 個音頻)
與VS 系列相同

遠程顯示/控制
可選件
可選件

標準
CE, UL/CSA
UL/CSA, CE Approved
CE, CSA/US



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