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安捷倫氦質譜檢漏儀，是一款安捷倫生產的進口氦質譜檢漏儀。
氦質譜檢漏儀
安捷倫氦質譜檢漏儀，是一款安捷倫生產的進口氦質譜檢漏儀。
氦質譜檢漏儀(MSLD) | 選擇性氦離子探測儀(SIPD) | ||||||||
便攜式 | 臺式 | 移動式 | 移動式 | 模塊式 | 手持吸槍式 | ||||
訂貨號 | G8600A | G8600B | G8602A | G8602B | G8601A | G8601B | G8603A | ||
型號 | VS PR02 | VS PD03 | VS BR15 | VS BD30 | VS MR15 | VS MD30 | 959 | VS C15 | PHD-4 |
前級泵 | DS 42 | 干式泵 組合 | DS 302 油封旋片泵 | TriScroll 620 | DS 302 油封旋片泵 | TriScroll 620 渦旋式干泵 | 渦旋式干泵或油封旋片泵 | 分子泵 | — |
名義抽速m3/hr (l/min) | 2 (34) | 3 (50) | 14 (232) | 30 (500) | 14 (232) | 30 (500) | 根據需要選配 | 根據需要選配 | — |
最小可檢漏 | 5 x 10-12 atm cc/sec: 5 x 10-12 mbar l/s: 5 x 10-13 Pa m3/sec | 2 x 10-9 atm cc/sec | 5 x 10-10 atm cc/sec | 5 x 10-6 atm cc/sec 5 x 10-6 mbar l/s 5 x 10-7 Pa m3/sec | |||||
測試口壓力 | 13 mbar: 10 Torr: 1330 Pa | 1 Torr | 5 Torr, 7 mbar, 667 Pa | — | |||||
校準 | 自動或手動（內部或外部） | 手動 | 自動或手動（內部或外部） | — | |||||
氦本底清零 | 一鍵式自動清零（自動本底追蹤） | 手動 | 一鍵式自動清零（自動本底追蹤） | 自動或手動 | |||||
通訊接口 | RS232 和analog （標配）、I/O 接口（選配） | Analog | RS232, analog, I/O 接口,和Profinet | Analog 和RS-232串口（標配） | |||||
設定點 | 5 個設定點（N/O 或N/C）（3 個漏率，1 個壓力，1 個音頻） | — | 與VS 系列相同 | ||||||
遠程顯示/控制 | 可選件 | — | 可選件 | ||||||
標準 | CE, UL/CSA | — | UL/CSA, CE Approved | CE, CSA/US | |||||
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