PE100等離子處理機是一款集綜合功能于一身的重量級產品。既可以應用于大學，科學研究機構，又能在工業級應用領域針對于小批量生產發揮強大作用。

美國產Plasma Cleaning System

PE-100實驗室等離子表面處理機

     PE公司成立于1980年，致力于提供電子行業用的等離子設備及相關服務。通過幾十年的發展，公司發展成為提供等離子設備方面的專家，可為客戶提供專業的產品和解決方案，先后眾多企業提供等離子處理設備：美國宇航局NASA, 美國波音Boeing，*的電子保安系統產品制造商美國霍尼韋爾Honeywell,美國摩托羅拉Moto, 德國拜耳Bayer，世界飛機的企業美國洛克希德馬丁Lockheed-Martin等等。

PE公司介紹

PE100等離子處理機是一款集綜合功能于一身的重量級產品。既可以應用于大學，科學研究機構，又能在工業級應用領域針對于小批量生產發揮強大作用。

PE100等離子處理機產品特點：

1. 體積小，配備小型真空泵，無需占用很大空間，可以放置在任何實驗臺上。

2.  性能可靠，“度量”寬大。真空腔體采用T6061經過特殊處理的航空鋁合金材料無縫焊接，有效處理面積達到約229mm*330mm.間距76mm(3層電極)可以輕松將大部分實驗樣品放入真空腔體內并實現小批量生產。

3. 配置靈活,PE-100擁有靈活多變的參數配置組合，能夠勝任使用者的不同需求。除了配置不同的頻率（100~460KHz，13.56MHz）,不同的頻率段，還提供不同的功率以供用戶選擇。在控制系統上，也配置了面板控制和更精準的全數字電腦控制，以滿足用戶的使用要求。

4. 可以配置*的過程控制的溫控電極與RIE反應性等離子體處理系統。

5. 操作簡便.設備的安裝非常簡單，工廠還提供詳盡的說明和相應的管道等配件。面板的操作部分，在設計中做到盡可能簡單和避免誤操作。一般操作人員在極短的時間內就可以熟練操作，甚至只需要幾分鐘就可掌握。

6.  安全保障：在小型設備中，*引入一鍵急停保護按鈕，當參數設置有誤而設備已經啟動的時候，可以快速終止實驗，以zui小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。

PE100等離子處理機參數：

PE100等離子處理機附件（可選件）

抽氣裝置：*型號：6.5 CFM  2級  直驅真空油泵

300w, 13.56Mhz可自動調節射頻發生器

一層電極

溫控電極

RIE反應性電極

可控速率氮氣自動吹掃裝置

靜電屏蔽裝置

樣品處理實例：LED燈基片  處理前后對比