PE100等離子處理機是一款集綜合功能于一身的重量級產品。既可以應用于大學,科學研究機構,又能在工業級應用領域針對于小批量生產發揮強大作用。
美國產Plasma Cleaning System
PE-100實驗室等離子表面處理機
PE公司成立于1980年,致力于提供電子行業用的等離子設備及相關服務。通過幾十年的發展,公司發展成為提供等離子設備方面的專家,可為客戶提供專業的產品和解決方案,先后眾多企業提供等離子處理設備:美國宇航局NASA, 美國波音Boeing,*的電子保安系統產品制造商美國霍尼韋爾Honeywell,美國摩托羅拉Moto, 德國拜耳Bayer,世界飛機的企業美國洛克希德馬丁Lockheed-Martin等等。
PE公司介紹
PE100等離子處理機是一款集綜合功能于一身的重量級產品。既可以應用于大學,科學研究機構,又能在工業級應用領域針對于小批量生產發揮強大作用。
PE100等離子處理機產品特點:
1. 體積小,配備小型真空泵,無需占用很大空間,可以放置在任何實驗臺上。
2. 性能可靠,“度量”寬大。真空腔體采用T6061經過特殊處理的航空鋁合金材料無縫焊接,有效處理面積達到約229mm*330mm.間距76mm(3層電極)可以輕松將大部分實驗樣品放入真空腔體內并實現小批量生產。
3. 配置靈活,PE-100擁有靈活多變的參數配置組合,能夠勝任使用者的不同需求。除了配置不同的頻率(100~460KHz,13.56MHz),不同的頻率段,還提供不同的功率以供用戶選擇。在控制系統上,也配置了面板控制和更精準的全數字電腦控制,以滿足用戶的使用要求。
4. 可以配置*的過程控制的溫控電極與RIE反應性等離子體處理系統。
5. 操作簡便.設備的安裝非常簡單,工廠還提供詳盡的說明和相應的管道等配件。面板的操作部分,在設計中做到盡可能簡單和避免誤操作。一般操作人員在極短的時間內就可以熟練操作,甚至只需要幾分鐘就可掌握。
6. 安全保障:在小型設備中,*引入一鍵急停保護按鈕,當參數設置有誤而設備已經啟動的時候,可以快速終止實驗,以zui小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。
PE100等離子處理機參數:
外部尺寸 | 432mm* 711mm*762mm 重量:73Kg |
真空腔材質 | 耐用的焊接6061 T6鋁合金真空腔 |
真空腔尺寸 | 約305mm寬*356mm深*305mm高 |
電極尺寸 | 約229mm*330mm.間距76mm(3層電極) |
等離子發生器 | 300 W @ 100-460 KHz(可選配13.56MHz) |
供氣 | 質量流量控制器: O-50cc (連續可調) |
壓力測量 | Pirini真空計:0-1Torr |
控制器 | 基于WINDOWS操作系統的控制系統 |
安全保障 | 一鍵急停按鈕 |
電源 | 220VAC,14A |
PE100等離子處理機附件(可選件)
抽氣裝置:*型號:6.5 CFM 2級 直驅真空油泵
300w, 13.56Mhz可自動調節射頻發生器
一層電極
溫控電極
RIE反應性電極
可控速率氮氣自動吹掃裝置
靜電屏蔽裝置
樣品處理實例:LED燈基片 處理前后對比
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