SPI公司(Structure Probe, Inc.)創立于1970年，創立之初以電鏡分析服務為主，1975年創立耗材部門，銷售電鏡的試片制作工具及耗材。該公司產品包括SEM、TEM、SPM甚至Laser Microscope 的耗材，儀器部分包括鍍碳鍍金機、電漿表面清潔或蝕刻機及電漿鍍鋨機等。

渦輪泵高真空度蒸發器：

渦輪泵高真空度蒸發器，滿足您的高真空度鍍膜需求，從碳蒸發到金屬鍍膜。

從用于精密控制和可復制性的固態電子器件，到便于使用的觸屏界面，Vacu Prep II是一款容易使用的儀器。內置渦輪分子泵，能夠快速地達到10-7托(torr)的真空度，并有大尺寸底板，帶有多個進樣槽，可以容納多種多樣的固定件，適用于幾乎所有應用領域。

典型應用領域：

• 電子顯微鏡樣品制備

• 高真空度碳鍍膜，用于TEM和X射線分析

• 金屬化合物的電阻蒸發

• 碳支持膜

• 碳/鉑復制品

• 孔眼清洗

• 石棉分析

• 失效分析

系統規格：

• 65升/分鐘渦輪分子泵

• 交互式觸摸屏控制板

• 氣動真空閥

• 尺寸：31″寬×28″深×30″高（79 cm寬×72 cm深×77 cm高）

• 重量：250磅（114 Kg）

• zui大真空度：10-7托(torr)

系統包括：

• 12″×12″（31 cm×31 cm）鐘形組件，帶抬升引導件

• 蒸發電源，帶關閉裝置

• 碳棒蒸發組件

• 碳纖維/金屬化合物蒸發組件

• 可調節的旋轉/傾斜臺

• 液氮存留器，帶加注漏斗

• 不銹鋼底板

場所要求：

• 壓縮空氣（用于閥門系統調節系統）：80磅/平方英寸（psig，表壓）

• 壓縮氮氣（選配排氣裝置）：5-10磅/平方英寸（表壓）

• 液氮（選配液氮存留器）

• 電力：110 V或 230 V, 50/60 Hz

• 采用機械泵支持渦輪泵