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AXSYS AL120-WM

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AXSYSAL120-WM4/6/8晶圓搬送機(jī)及WaferMapping應(yīng)用特點(diǎn):針對4/6/8晶圓搬送及檢查,整合電動臺,自動OCR,WaferAlignment,配合wafermapping系統(tǒng)

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AXSYS AL120-WM 
 
4’’/6’’/8’’晶圓搬送機(jī)及Wafer Mapping
 
應(yīng)用特點(diǎn):
針對4’’/6’’/8’’晶圓搬送及檢查,整合電動臺,自動OCR,Wafer Alignment,配合wafer mapping系統(tǒng)。可以讀取上一站的wafer mapping,實(shí)現(xiàn)review,bincode編輯等,并可以繼續(xù)上載mapping,供下一站適用。可編程自動跑位、拍照,減輕人工負(fù)荷。

設(shè)備優(yōu)勢:
·奧林巴斯AL-120晶圓搬送機(jī)平臺
·奧林巴斯MX63顯微鏡
·200mm X 200mm 電動平臺
·Z自動聚焦
·自動wafer Alignment
·OCR Wafer ID 讀取
·可編輯的wafer map,適用多種SEMI標(biāo)準(zhǔn)格式
·Bincode的生成和配置
·SECS/GEM 連線



 


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