智能快速的自動對焦 晶圓級檢測顯微鏡可配置自動對焦模塊，通過660nm/780nm/808nm的反射光源、Z軸位移臺和高幀率觀測相機之間的高度協同性，能夠快速根據軟件算法確定樣品的聚焦平面并保持持續的追焦狀態。這不僅解決了手動調焦的諸多問題，更通過數據驅動焦點的決策，為后續分析提供高質量的輸入，推動科研與工業檢測進入全自動高保真時代。

智能快速的自動對焦 晶圓級檢測顯微鏡可配置自動對焦模塊，通過660nm/780nm/808nm的反射光源、Z軸位移臺和高幀率觀測相機之間的高度協同性，能夠快速根據軟件算法確定樣品的聚焦平面并保持持續的追焦狀態。這不僅解決了手動調焦的諸多問題，更通過數據驅動焦點的決策，為后續分析提供高質量的輸入，推動科研與工業檢測進入全自動高保真時代。

***支持所有Zeiss Axioscope系列顯微鏡升級此配件

虛焦狀態

自對焦狀態

智能高效的激光缺陷標記

智能快速的自動對焦 晶圓級檢測顯微鏡可配置激光缺陷標記模塊，通過配備450nm和532nm的雙激光組合，可以在顯微鏡的體系中將精準檢測與物理標識深度結合，構建“發現-標記-處理”的閉環質檢體系，在完成多種亞微米級激光應用的同時，通過數據-物理空間的雙向映射，為智能化制造提供可追溯的數字化孿生錨點。

材料改性

鉻膜加工

缺陷標記

激光修復

導航圖預覽、圖紙對比、準確定位

通過導航圖預覽功能，操作人員可以迅速了解晶圓的整體布局和結構，從而快速定位到感興 趣的區域。對于大面積晶圓的精準檢測尤為重要，可以節省大量尋找特定區域的時間。

基于軟件中高級圖像分析能力,能夠將晶圓的實際圖像與設計圖紙進行實時對比，方便操作人員快速且精確的識別出兩者的差異。還可以憑借“激光標記”功能，將需要改善的位置直接標記出來，為下一步優化參數和制造工藝提高便利。

第三方兼容，實現晶圓自動搬運0

通過導航圖預覽功能，操作人員可以迅速了解晶圓的整體布局和結構，從而快速定位到感興趣的區域。對于大面積晶圓的精準檢測尤為重要，可以節省大量尋找特定區域的時間。