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缺陷標記 主動對焦 晶圓級檢測顯微鏡

參考價1.00
具體成交價以合同協議為準
規格
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缺陷標記 主動對焦 晶圓級檢測顯微鏡為半導體制造、面板顯示以及光伏等工業領域提供多維度的自動檢測方案。

詳細信息 在線詢價

缺陷標記 主動對焦 晶圓級檢測顯微鏡主要參數:

1.XY手動運動臺動運動臺

8吋晶圓XY手動/電動運動臺模組

XY運動軸精度:≤2 μm

行程:205 mm * 205 mm

XY運動軸帶離合器手柄,可快速移動

 

2.Z軸運動臺

Z軸同時配備電傳手輪和碼盤

Z軸微調精度:≤1 μm

行程:≥36 mm

 

3.物鏡模組

采用蔡司原裝的手動/電動物鏡切換裝置

蔡司EpiPlan消色差物鏡,EPN半復消色差物鏡以及EPA復消色差物鏡

 

4.光源模組

5W LED透射式光源

10W LED透射式光源

 

5.晶圓放置模組

兼容多尺寸晶圓的載物臺(可兼容4英寸,6英寸和8吋晶圓片)

保留透射光路,晶圓載物臺可拆卸,支持液晶面板的檢測功能

 

6.成像觀察模組

適配蔡司的Axiocam系列相機,海康威視系列相機

適配蔡司的目鏡(選配)

提供明場/暗場的觀察方式,可選配微分干涉,熒光和偏光的觀察方式

 

7.遠程控制手柄

物鏡切換裝置按鈕

照明光光強控制按鈕,并且可以隨物鏡/觀察方式自動調節當前光強

反射照明和透射照明切換按鈕

電傳Z軸聚焦旋鈕,XY運動軸遙感

缺陷標記和主動對焦快速確定按鈕

 

8.主動對焦模組

可兼容主動對焦模組,實現50×物鏡下對被觀察的實時對焦功能

 

9.缺陷標記模組

可兼容缺陷標記模組,實現對樣品缺陷部分進行實時標記 晶圓搬運模組

 

10.晶圓搬運模組

可兼容晶圓搬運模組,實現晶圓片的自動上下料


缺陷標記 主動對焦 晶圓級檢測顯微鏡為半導體制造、面板顯示以及光伏等工業領域提供多維度的自動檢測方案


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