缺陷標記 主動對焦 晶圓級檢測顯微鏡
參考價 | ¥1.00 |
- 公司名稱 托托科技(蘇州)有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地 蘇州市
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/5/29 13:37:24
- 訪問次數 23
1 | 1.00元 | 1111 件可售 |
參考價 | ¥1.00 |
1 | 1.00元 | 1111 件可售 |
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
缺陷標記 主動對焦 晶圓級檢測顯微鏡為半導體制造、面板顯示以及光伏等工業領域提供多維度的自動檢測方案。
缺陷標記 主動對焦 晶圓級檢測顯微鏡主要參數:
1.XY手動運動臺動運動臺
8吋晶圓XY手動/電動運動臺模組
XY運動軸精度:≤2 μm
行程:205 mm * 205 mm
XY運動軸帶離合器手柄,可快速移動
2.Z軸運動臺
Z軸同時配備電傳手輪和碼盤
Z軸微調精度:≤1 μm
行程:≥36 mm
3.物鏡模組
采用蔡司原裝的手動/電動物鏡切換裝置
蔡司EpiPlan消色差物鏡,EPN半復消色差物鏡以及EPA復消色差物鏡
4.光源模組
5W LED透射式光源
10W LED透射式光源
5.晶圓放置模組
兼容多尺寸晶圓的載物臺(可兼容4英寸,6英寸和8吋晶圓片)
保留透射光路,晶圓載物臺可拆卸,支持液晶面板的檢測功能
6.成像觀察模組
適配蔡司的Axiocam系列相機,海康威視系列相機
適配蔡司的目鏡(選配)
提供明場/暗場的觀察方式,可選配微分干涉,熒光和偏光的觀察方式
7.遠程控制手柄
物鏡切換裝置按鈕
照明光光強控制按鈕,并且可以隨物鏡/觀察方式自動調節當前光強
反射照明和透射照明切換按鈕
電傳Z軸聚焦旋鈕,XY運動軸遙感
缺陷標記和主動對焦快速確定按鈕
8.主動對焦模組
可兼容主動對焦模組,實現50×物鏡下對被觀察的實時對焦功能
9.缺陷標記模組
可兼容缺陷標記模組,實現對樣品缺陷部分進行實時標記 晶圓搬運模組
10.晶圓搬運模組
可兼容晶圓搬運模組,實現晶圓片的自動上下料
缺陷標記 主動對焦 晶圓級檢測顯微鏡為半導體制造、面板顯示以及光伏等工業領域提供多維度的自動檢測方案
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
*您想獲取產品的資料:
個人信息: